Книга последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений. Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс.
Ричард Лич Инженерные основы измерений нанометровой точности,пер. с англ. Учебное пособие
